TAPER ETCHING METHOD,申请号JP19960307641-传众专利搜索

发明名称	TAPER ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPH10150023(A)	申请公布日期	1998.06.02
申请号	JP19960307641	申请日期	1996.11.19
申请人	SONY CORP	发明人	OONUMA NORIHIRO
分类号	H01L21/302;B81C99/00;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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