METHOD OF INSPECTING ELECTRIC CHARACTERISTICS OF WAFERS AND APPARATUS THEREFOR,申请号KR19890014708-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF INSPECTING ELECTRIC CHARACTERISTICS OF WAFERS AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号	KR0139025(B1)	申请公布日期	1998.06.01
申请号	KR19890014708	申请日期	1989.10.14
申请人	IWAMATSU, MASAAKI;TAKEBUCHI, RYUICHI;MARUMO, YOSHIHITO	发明人	IWAMATSU, MASAAKI;TAKEBUCHI, RYUICHI;MARUMO, YOSHIHITO
分类号	H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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