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发明名称 APPARATUS FOR MONITORING THE FILM BY MOCVD
摘要
申请公布号 KR0138863(B1) 申请公布日期 1998.06.01
申请号 KR19940034157 申请日期 1994.12.14
申请人 KOREA ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 LEE, BUN;KIM, DUK-BONG;BAEK, JONG-HYUP
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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