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发明名称 CURING METHOD OF SPIN-ON GLASS BY PLASMA PROCESS
摘要
申请公布号 KR0138853(B1) 申请公布日期 1998.06.01
申请号 KR19940028804 申请日期 1994.11.03
申请人 KOREA ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 PARK, MIN;LEE, JOONG-HWAN;KOO, JIN-KEUN;YU, HYUNG-JOON
分类号 H01L21/768;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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