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发明名称 METHOD OF GUAGE OF ETCHING SPEED AND UNIFORMITY
摘要
申请公布号 KR0137822(B1) 申请公布日期 1998.06.01
申请号 KR19940030960 申请日期 1994.11.23
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 JUNG, YONG-SIK;MAENG, CHANG-HO;SONG, CHI-HWA
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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