| 发明名称 |
CAMERA STAGE FOR IC INSPECTION MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0117415(Y1) |
申请公布日期 |
1998.06.01 |
| 申请号 |
KR19930006644U |
申请日期 |
1993.04.26 |
| 申请人 |
SAMSUNG AEROSPACE INDUSTRIES LTD |
发明人 |
OH, SUK-JOO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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