发明名称 METHOD OF FABRICATION METAL IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0137565(B1) 申请公布日期 1998.06.01
申请号 KR19940034735 申请日期 1994.12.16
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, HUN-DO
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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