| 摘要 |
<p>Microscope électronique de balayage possédant des moyens (1, 3) servant à générer un faisceau d'électrons qu'on passe au-dessus d'un spécimen (11) retenu à l'intérieur d'un support (12) dans une chambre (5) contenant un milieu gazeux. On applique un potentiel négatif au support (12), de manière à générer un champ électrique accélérant les électrons secondaires, obtenus par l'interaction du faisceau primaire et du spécimen (11), dans un sens s'éloignant de la surface du spécimen et pénétrant dans une zone de collision (21) située dans la chambre. Dans cette zone, les électrons secondaires ayant subi l'accélération viennent en collision avec des molécules de gaz du milieu gazeux, ce qui déclenche des collisions en cascade et, de ce fait, amplifie le signal des électrons secondaires. On détecte ce signal qui peut prendre la forme de photons générés par les collisions) par des moyens de détections (10, 7), tels qu'un photomultiplicateur.</p> |
