发明名称 INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNG
摘要
申请公布号 DE69031944(T2) 申请公布日期 1998.05.28
申请号 DE19906031944T 申请日期 1990.11.07
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP;FUJITSU VLSI LTD., KASUGAI, AICHI, JP 发明人 NAKANO, TOMIO 5-37-3, WAKINOSHIMA-CHO, GIFU 507, JP;KATO, YOSHIHARU YAMAYOSHIHAUSU 202, KASUGAI-SHI AICHI 486, JP;NOMURA, HIDENORI 117-401, 9-2, TAKAMORIDAI, AICHI 487, JP
分类号 H01L21/822;G11C11/401;G11C11/407;H01L21/8242;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/02;G05F1/46 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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