发明名称 Bondverfahren und damit hergestellte Bondverbindung
摘要
申请公布号 DE4409068(C2) 申请公布日期 1998.05.28
申请号 DE19944409068 申请日期 1994.03.14
申请人 HARTMANN & BRAUN AG, 60487 FRANKFURT, DE 发明人 OBERMEIER, ERNST, PROF. DR.-ING., 14050 BERLIN, DE;HOLZNER, KLAUS, 13351 BERLIN, DE;DIEPOLD, THOMAS, 13409 BERLIN, DE
分类号 G01L9/00;H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/52;H01L23/057 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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