VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON NIOBOXID ENTHALTENDEN OPTISCHEN BESCHICHTUNGEN MITTELS REAKTIVER GLEICHSTROMZERSTÄUBUNG,申请号DE1991628192T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON NIOBOXID ENTHALTENDEN OPTISCHEN BESCHICHTUNGEN MITTELS REAKTIVER GLEICHSTROMZERSTÄUBUNG
摘要	A multilayer optical coating including at least one layer of niobium oxide deposited by DC reactive sputtering.
申请公布号	DE69128192(T2)	申请公布日期	1998.05.28
申请号	DE1991628192T	申请日期	1991.07.31
申请人	VIRATEC THIN FILMS, INC., FAIRBAULT, MINN., US	发明人	DICKEY, ERIC, R., NORTHFIELD, MN 55057, US;STEFFENHAGEN, DEBRA, M., FARIBAULT, MN 55021, US
分类号	B32B7/02;B32B9/00;C03C17/34;G02B1/11;G02B5/28;(IPC1-7):B32B17/06;G02B5/00;C23C14/08;G02B1/10	主分类号	B32B7/02
代理机构		代理人
主权项
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