Apparatus for automatic and continuous analysis of liquid samples

摘要

Eine Vorrichtung zur automatischen und kontinuierlichen Analyse von Flüssigkeitsproben durch Mischen bestimmter Reagenzien mit der gemeinsamen Anordnung von Membranpumpen, Mischkammern, Verbindungskanälen und die Auswertung des Reaktionsergebnisses mit Hilfe geeigneter Sensoren auf einem 100 orientierten Silizium-Wafer mittels einer durch anisotropes Ätzen eingebrachten Struktur. Unmittelbar vor und hinter der Pumpkammer mit trapezförmigem Querschnitt befinden sich Kanäle mit v-förmigem oder trapezförmigem Querschnitt, die einen nichtlinearen Strömungswiderstand darstellen.