| 发明名称 |
Filling recesses in a surface of a workpiece with conductive material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2319532(A) |
申请公布日期 |
1998.05.27 |
| 申请号 |
GB19970024096 |
申请日期 |
1997.11.14 |
| 申请人 |
* TRIKON EQUIPMENTS LIMITED |
发明人 |
CHRISTOPHER DAVID * DOBSON |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/02;C23C14/58;C23C16/30;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):C23C14/58;C23C16/56;C23C28/00;C25D5/48 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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