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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER TEST AND BURN-IN
摘要
申请公布号 EP0843825(A1) 申请公布日期 1998.05.27
申请号 EP19960928029 申请日期 1996.08.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LEAS, JAMES, MARC;KOSS, ROBERT, WILLIAM;VAN HORN, JODY, JOHN;WALKER, GEORGE, FREDERICK;PERRY, CHARLES, HAMPTON;GARDELL, DAVID, LEWIS;DINGLE, STEVE, LEO;PRILIK, RONALD
分类号 G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/316 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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