| 发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING A SELF-ALIGNED CONTACT AND DOPED REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0843888(A1) |
申请公布日期 |
1998.05.27 |
| 申请号 |
EP19960928336 |
申请日期 |
1996.07.25 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KERBER, MARTIN |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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