发明名称 Holder for disc-like substrates
摘要 <p>Bei einem Träger 1 für scheibenförmige Gegenstände 2, der in seiner dem scheibenförmigen Gegenstand 2 zugekehrten Fläche eine ringförmige Düse 8 für den Austritt von Druckgas aufweist, ist radial außerhalb der ringförmigen Düse 8 eine kreisförmige Stufe 10 vorgesehen. Behandlungsflüssigkeit 15, die auf die Oberseite eines Gegenstandes 2, der an einem mit der Stufe 10 versehenen Träger 1 gehalten ist, aufgebracht wird, wandert um den Umfangsrand 16 des Gegenstandes 2 herum auf die Unterseite 17 desselben und benetzt einen radial außerhalb der Stufe 10 liegenden Bereich der Unterseite 17 des Gegenstandes 2, bis es von dem aus der Ringdüse 8 austretenden Gas radial nach außen weggeblasen wird. So ergibt sich der Vorteil, daß Behandlungsflüssigkeit 15 nicht nur zum Umfangsrand 16 des Gegenstandes 2, sondern auch in einen ringförmigen Bereich der dem Träger 1 zugekehrten Unterseite 17 des scheibenförmigen Gegenstandes 2 gelangt und dort seine Wirkung entfalten kann. <IMAGE></p>
申请公布号 EP0844646(A2) 申请公布日期 1998.05.27
申请号 EP19970890228 申请日期 1997.11.14
申请人 SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG 发明人 PIRKER, WILLIBALD
分类号 C23F1/08;H01L21/02;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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