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发明名称 SPIN COATER
摘要
申请公布号 JPH10137667(A) 申请公布日期 1998.05.26
申请号 JP19960318873 申请日期 1996.11.14
申请人 MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OTA YASUHARU
分类号 B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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