发明名称 |
ROTARY SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10137662(A) |
申请公布日期 |
1998.05.26 |
申请号 |
JP19960302174 |
申请日期 |
1996.11.13 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YABE MANABU |
分类号 |
B05C11/08;H01L21/02;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
B05C11/08 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|