| 发明名称 |
TREATING LIQUID HEATING DEVICE OF SUBSTRATE TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10137737(A) |
申请公布日期 |
1998.05.26 |
| 申请号 |
JP19960312943 |
申请日期 |
1996.11.07 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
NAGARA SHUJI;NAKAGAWA HITOSHI |
| 分类号 |
H05B3/42;B01J19/00;C02F1/02;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C02F1/02 |
主分类号 |
H05B3/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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