VACUUM DEVICE,申请号JP19960296374-传众专利搜索

发明名称	VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号	JPH10140336(A)	申请公布日期	1998.05.26
申请号	JP19960296374	申请日期	1996.11.08
申请人	JEOL LTD	发明人	ICHIKAWA SHUICHI;MINAMI HIROSHI;CHO HISASHI
分类号	G01J5/60;C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30	主分类号	G01J5/60
代理机构		代理人
主权项
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