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摘要
申请公布号
JP2756596(B2)
申请公布日期
1998.05.25
申请号
JP19890238142
申请日期
1989.09.13
申请人
TOKYO OKA KOGYO KK
发明人
SAGO HIROHITO;MIZUKI HIDEYUKI;KUDO KATSUHIKO;UEHARA AKIRA;NAKAYAMA MUNEO
分类号
B05C9/00;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):B05C11/08
主分类号
B05C9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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