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发明名称
摘要
申请公布号
JP2756704(B2)
申请公布日期
1998.05.25
申请号
JP19890159301
申请日期
1989.06.20
申请人
FUJITSU KK
发明人
MORI HARUHISA;IGARASHI TAKASHI;KASE MASATAKA
分类号
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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