| 摘要 |
챔버 내부를 육안으로 확인하여 내부 점검 및 부품의 조립이 용이하도록 된 반도체 에칭설비의 슈라우드에 관한 것이다. 본 고안의 구성은 상측 전극에 설치되어 플라즈마가 한 곳에 모이도록 하는 반도체 에칭설비의 슈라우드에 있어서, 챔버 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 전체가 투명재질로 제조된 것이다. 또는 측벽에 챔버 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 장방형의 투시포트를 복수개 형성하고, 상기 투시포트는 석영재질의 양면에 테프론 재질을 코팅하여 이루어진 것이다. 따라서 챔버내부를 육안으로 확인할 수 있는 것이므로 정기점검시 챔버를 열지않고 육안으로 점검하는 것이 가능하고, 챔버내부의 조립 및 조립상태 확인이 용이하며, 엔드 포인트 플러스를 사용할 때 플라즈마의 파장전달이 정확하게 이루어지는 효과가 있다. |
