发明名称
摘要
申请公布号 SU365084(A3) 申请公布日期 1972.12.28
申请号 SU19681232853 申请日期 1968.04.12
申请人 发明人
分类号 G03F7/00;G03G5/06;G03G9/08;G03G13/26;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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