发明名称 MANUFACTURE OF LAMINATED SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH10135432(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960289792 申请日期 1996.10.31
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 IKEUCHI NAOKI
分类号 H01L21/304;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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