发明名称 |
ELECTRON BEAM COOLING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10134999(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
申请号 |
JP19960288302 |
申请日期 |
1996.10.30 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HOSHINO MASAYUKI;YOSHIYUKI TAKESHI |
分类号 |
G21K1/093;H01L39/04;H05H7/04;H05H13/04;(IPC1-7):H05H13/04 |
主分类号 |
G21K1/093 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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