| 摘要 |
<p>본 고안은 함침장치의 밑면에 망체를 설치하여 함침액이 일정하게 반도체 소자로 유입되게 함으로써 일정한 점도의 함침액을 유지할 수 있음은 물론 액면을 고르게 하여 반도체 소자의 특성을 향상시킬 수 있도록 하는 반도체 소자 제조장치에 관한 것으로, 함침액이 저장된 함침액 저장통(1)과, 반도체 소자(4)가 위치되는 함침장치(2)와, 상기 함침액 저장통(1)으로부터 나온 함침액을 함침장치(2)로 일정하게 뿜어주기 위한 펌프(3)와, 상기 함침장치(2)와 상기 함침액 저장통(1)사이에 연결되어 함침액을 전달할 수 있도록 하는 파이프(5)를 구비하여 구성된 반도체 소자 제조장치에 있어서, 상기 함침장치(2)의 입구에 망체(6)를 설치하여 함침액이 일정하게 상기 함침장치(2)로 유입되게 구성하여 이루어진 것이다.</p> |
