发明名称 THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH10135462(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960285426 申请日期 1996.10.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SANO HIROSHI;KOBAYASHI IKUNORI
分类号 H01L21/28;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址