| 发明名称 |
MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10135144(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19960303739 |
申请日期 |
1996.10.28 |
| 申请人 |
SANKEN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SUGIYAMA KINJI;YAJIMA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/223;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 |
主分类号 |
H01L21/223 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
