| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10135414(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19960283691 |
申请日期 |
1996.10.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MINE TOSHIYUKI;YANO KAZUO;ISHII TOMOYUKI |
| 分类号 |
H01L21/8247;B82B1/00;H01L27/10;H01L29/66;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
