发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10135319(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960290342 申请日期 1996.10.31
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 MORIMOTO ATSUSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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