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发明名称 CIRCUIT SIMULATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10135335(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960283765 申请日期 1996.10.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAGAHISA KATSUMI
分类号 G01R31/28;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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