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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10135241(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960287892 申请日期 1996.10.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUEHIRO HARUHIKO
分类号 H01L29/41;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
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