| 发明名称 |
HEAT-TREATING APPARATUS AND MAINTENANCE METHOD FOR ITS HEAT-TREATING FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10135230(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19960305653 |
申请日期 |
1996.10.31 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
SAKATA KAZUNARI;TSUKADA AKIHIKO;TANIFUJI TAMOTSU |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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