发明名称 |
TECHNIQUE AND APPARATUS FOR MEASUREMENT OF TRACE COMPONENT BY USING LASER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10132741(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
申请号 |
JP19960292288 |
申请日期 |
1996.11.05 |
申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
DEGUCHI YOSHIHIRO;IWASAKI SEIJI;YOSHIDA HIROHISA |
分类号 |
G01N21/63;G01N21/64;(IPC1-7):G01N21/63 |
主分类号 |
G01N21/63 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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