发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH10135485(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960287081 申请日期 1996.10.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 YOSHIDA HITOSHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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