发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10134727(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960301168 申请日期 1996.10.25
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 MIKAMI TAKASHI;KIRIMURA HIROYA;KISHIDA SHIGEAKI;EBE AKINORI;OGATA KIYOSHI
分类号 H01J27/02;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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