发明名称 SPIN TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10135179(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960289965 申请日期 1996.10.31
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD;TOSHIBA CORP 发明人 MIYASAKO HISAAKI;HARA AKIRA;HIROSE HARUMICHI;ISO AKINORI;SAKURAI NAOAKI;NISHIGAKI HISASHI
分类号 F26B5/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
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