| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF EVALUATING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10135413(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19960289690 |
申请日期 |
1996.10.31 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
YASUDA MASAHARU |
| 分类号 |
G01R31/02;G01R27/02;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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