| 发明名称 |
OPTICAL INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10132704(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19960284046 |
申请日期 |
1996.10.25 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
HORI KEIICHI;YAMAHARU TAKASHI;KURITA KOICHI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01M11/00;(IPC1-7):G01M11/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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