| 发明名称 |
OPTICAL AXIS ADJUSTMENT METHOD FOR FOCUSED ION BEAM AND FOCUSED ION BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10134746(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19960286760 |
申请日期 |
1996.10.29 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
FUJII TOSHIAKI;SUGIYAMA YASUHIKO |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/252;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/04 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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