发明名称 Turbo-molecular pump
摘要
申请公布号 EP0773367(B1) 申请公布日期 1998.05.20
申请号 EP19960200164 申请日期 1996.01.24
申请人 VARIAN S.P.A. 发明人 CERRUTI, ROBERTO;LEVI, GIAMPAOLO
分类号 F04D17/16;F04D19/04;(IPC1-7):F04D17/16 主分类号 F04D17/16
代理机构 代理人
主权项
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