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发明名称 PROBER AND TESTER WITH COMPACT INTERFACE FOR INTEGRATED CIRCUITS-CONTAINING WAFER HELD DOCKED IN A VERTICAL PLANE
摘要
申请公布号 EP0842438(A1) 申请公布日期 1998.05.20
申请号 EP19960924570 申请日期 1996.07.19
申请人 ELECTROGLAS, INC. 发明人 WATTS, MICHAEL, P., C.;HENDLER, LAWRENCE
分类号 G01R1/06;G01R1/067;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02;G01B3/38 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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