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发明名称 Probe changing system
摘要
申请公布号 GB2302588(B) 申请公布日期 1998.05.20
申请号 GB19960009990 申请日期 1996.05.14
申请人 * CARL-ZEISS STIFTUNG 发明人 PETER * AEHNELT;KURT * BRENNER;KLAUS * HERZOG;ROLAND * ROTH;KARL * SEITZ
分类号 G01B5/012;(IPC1-7):G01B21/04 主分类号 G01B5/012
代理机构 代理人
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