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发明名称 Procedure and device for absolute measurements with a laser-interferometer
摘要
申请公布号 EP0623801(B1) 申请公布日期 1998.05.20
申请号 EP19940106729 申请日期 1994.04.29
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 THIEL, JUERGEN, DIPL.-PHYS.;MICHEL, DIETER, DIPL.-ING. (FH);FRANZ, ANDREAS, DR.
分类号 G01B9/02;G01J9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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