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发明名称 Method of sputtering a carbon protective film on a magnetic disk by superimposing an AC voltage on a DC bias voltage
摘要
申请公布号 EP0561641(B1) 申请公布日期 1998.05.20
申请号 EP19930302080 申请日期 1993.03.18
申请人 KOMAG, INC. 发明人 YAMASHITA, TSUTOMU;LEE, KYOU HAENG;RANJAN, RAJIV Y.;TRACHUK, YURI
分类号 C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;G11B5/72;G11B5/84;H01F41/18;(IPC1-7):G11B5/84;C23C14/44 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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