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发明名称 Processing system
摘要
申请公布号 EP0764973(A3) 申请公布日期 1998.05.20
申请号 EP19960116123 申请日期 1992.10.22
申请人 ELECTROTECH LIMITED 发明人 JEFFRYES,ANDREW ISAAC;GREEN,GORDON ROBERT
分类号 C23C14/56;C23C14/58;C23C26/00;H01L21/00;H01L21/324;H01L21/677;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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