采用带电粒子束的图形绘制方法及其装置

摘要

将要形成图形的两个图形预定区域各被分成一外缘部和被外缘部围绕的一中心部。与一间隔区域接触的外缘部自其两端分成5μm间隔的轮廓部。由轮廓部所夹的一部分外缘部形成一轮廓部。与这些轮廓部垂直的外缘区形成一轮廓部分。控制单元按电子束密度控制向各轮廓部曝射的强度。在与间隔区域接触的外缘部分中沿外缘部分,与其位置远离的轮廓部受到的电子束曝射强度高于较近的轮廓部。

主权项

1.一种采用带电粒子束的图形绘制方法，其特征在于，它包括：将要形成图形的一区域分成一中心部分和围绕所述中心部分的一外缘部分，所述的外缘部分被分为多个轮廓部分；以及向每个所述轮廓部分照射带电电子束的方式，是在沿外缘部分与一特定轮廓部分远离的一轮廓部分受到的照射能量强度高于与所述特定轮廓部分较近的轮廓部分。