| 发明名称 |
COMPONENTE A SEMICONDUTTORE INTEGRATO VERTICALE SU UN SUBSTRATO CON UN COLLEGAMENTO DAL LATO POSTERIORE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITMI972564(A1) |
申请公布日期 |
1998.05.20 |
| 申请号 |
IT1997MI02564 |
申请日期 |
1997.11.18 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
MICHEL HARTMUT;FLOHRS PETER;PLUNTKE CHRISTIAN;GOERLACH ALFRED;MINDL ANTON;QU NING |
| 分类号 |
H01L23/58;H01L29/80;H01L29/8605 |
主分类号 |
H01L23/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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