HIGH-TEMPERATURE THIN FILM TYPE VIBRATION SENSOR,申请号JP19960298228-传众专利搜索

发明名称	HIGH-TEMPERATURE THIN FILM TYPE VIBRATION SENSOR
摘要
申请公布号	JPH10122948(A)	申请公布日期	1998.05.15
申请号	JP19960298228	申请日期	1996.10.21
申请人	AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL	发明人	AKIYAMA MORIHITO;JIYO CHIYOUDAN;NONAKA KAZUHIRO;WATANABE TADAHIKO
分类号	G01H11/08;H01L41/08;(IPC1-7):G01H11/08	主分类号	G01H11/08
代理机构		代理人
主权项
地址